物理蒸鍍就是把物質加熱揮（huī）發，然後將其蒸氣沉積（jī）在預定的基材上。由於蒸發源須加熱揮發，又是在真（zhēn）空中（zhōng）進行，故亦稱為熱蒸鍍或真空蒸鍍。

其可分（fèn）為三個步驟: 

(1)凝態的物質被加熱揮發成汽相  
(2)蒸汽在具空中移動一段距離至基材 
(3)蒸（zhēng）汽在基材上冷卻凝結成薄膜