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膜(mó)厚(hòu)的量測方法有哪些

作者: 來源: 日期:2020-07-28 13:56:26 人氣(qì):9205

膜厚的量測(cè)方法大致上可分為原位量測、離位量測兩類 

原位(wèi)星測係指鍍膜進行中量測,普遍(biàn)使用在物理氣相沉積(jī),如微天平、光學、電阻量測。

離位量測係指鍍膜完成後量測,對電鍍膜的行使較為普遍,具有了解電鍍效率的目的,如質量、剖麵計、掃描式電(diàn)子(zǐ)顯微(wēi)鏡。

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