通俗的定義為在正常狀況下，其應（yīng）用功能不會失效。

想要達到這個目的，一般而言這層薄膜必須具有（yǒu）堅牢的附著力（lì）、很低的內應力、針（zhēn）孔密度很少、夠強的（de）機械性能、均勻的膜厚、以及（jí）足夠的抗化學侵蝕性。

薄膜的特性主要受到沉積過程、成膜條件、接口層的形成和基材的影響，隨後的熱處理亦扮演（yǎn）重要角色。 

沉積的薄膜有內應（yīng）力的存在，其來源為（wéi）何? 

薄膜和基材之間的晶格失配 

薄膜和基（jī）材之間的熱膨脹係數（shù）差異 

晶界（jiè）之間的互擠（jǐ）