真空鍍膜機是（shì）目前製作真空條件應用最（zuì）為廣泛的真空設（shè）備，一（yī）般（bān）用真空室、真空機組、電氣控製櫃（guì）三大工作原理。

真空主（zhǔ）題--真空腔根據加工產品要（yào）求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用最多的有直（zhí）徑0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔體由不鏽鋼材料製作，要求不生鏽、堅（jiān）實等，真空腔各（gè）部（bù）分有鏈接閥，用來鏈接各抽氣泵浦。

輔助抽氣係統：排氣係統為鍍膜機真空係統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成，此排氣係統（tǒng）采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold組成”。

排氣流程（chéng）為（wéi）：機械泵先將（jiāng）真空腔（qiāng）抽至2.0*10-2pa左右的低真空狀態，為擴散泵後續抽真（zhēn）空（kōng）提（tí）供前提，之後當擴散（sàn）泵抽真空的時候（hòu），機械泵又配合油擴散泵組成串（chuàn）聯（lián），已（yǐ）這樣（yàng）的方式完成抽氣動作。

 機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用最（zuì）廣泛的一種低真空泵，它是（shì）用油（yóu）來保持密封（fēng）效果並依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被（bèi）抽容器內氣體（tǐ）的體積不（bú）斷膨脹（zhàng）從而獲得（dé）真空。