SF係列電子束蒸發光學真(zhēn)空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:23664
SF係列電子束蒸發(fā)光學真空鍍(dù)膜機

工作(zuò)原理

電子束蒸發是將膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用(yòng)電子束加熱,使膜材中的原子或分子從表麵汽化逸出後(hòu)入射到基片表麵(miàn)凝(níng)結(jié)成(chéng)膜。電子束(shù)蒸發比一(yī)般電阻加熱蒸發熱效率(lǜ)高、束流密度大、蒸發速度快,製成的薄膜純度高。

應用(yòng)範(fàn)圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較多的短波通、長波通(tōng)、增透膜、反射膜、濾光膜(mó)、分光膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反(fǎn)射膜等各種膜係,能夠實現0-50層膜(mó)的膜係鍍膜,也能滿(mǎn)足如汽車反光玻璃、、眼鏡片(piàn)、光(guāng)學鏡頭、冷光杯等產品的鍍膜要求。配置不同的(de)蒸發源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化合物及其他高熔點膜(mó)材皆(jiē)可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有(yǒu)石英晶(jīng)體膜厚儀(yí),采用PLC與觸摸(mō)屏係統聯合實現(xiàn)對整個工作過程的自動控製(zhì),工作效率和產(chǎn)品質量重複性(xìng)一致性優良.
2)適用於(yú)光學領域行業,大規模(mó)工業生產要求的廠商使(shǐ)用。

技術參數表

SF係列電(diàn)子束蒸發光(guāng)學真空鍍膜(mó)機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙(shuāng)KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散(sàn)泵機(jī)組
鍍膜係統電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子(zǐ)源
充氣係統壓強控製儀
控製方式手動或半自動
膜厚監控係統石英晶體膜厚監(jiān)控(kòng)係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極(jí)限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均按(àn)客戶實際工藝要求設計訂做
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