工作原理
應(yīng)用範(fàn)圍
產(chǎn)品特點
技術(shù)參數表
HLB係(xì)列大型(xíng)板材管材真空鍍膜機 | |||||||
型號 | HLB-1800 | HLB-2000 | HLB-3000 | HLW-2000 | HLW3000 | HLW-4000 | HLW-5000 |
真空室尺寸 | Φ1800×2000MM | Φ2000×2000MM | Φ3000×3000MM | Φ2000×6000MM | Φ3000×6000MM | Φ4000×8000MM | Φ5000×10000MM |
真空機組 | 雙KT800擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵(bèng)機組 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機(jī)組(zǔ)*4套 |
鍍膜係統 | 專用多弧鍍膜電源+多功能孿生磁(cí)環弧靶+柱形弧靶(可選配) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低溫離子輔(fǔ)助源(yuán)(除工(gōng)具鍍外無需加溫(wēn)係統(tǒng)) | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | ||||||
控製方式(shì) | 手動或(huò)全自(zì)動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要(yào)求設計訂做 |