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鍍膜工藝設計

作者: 來源: 日期:2020-11-23 11:28:29 人氣:10952

鍍膜工藝之設計應著重(chóng)考慮不同薄膜材料之間(jiān)需要不同的沉積工藝,

不同濺射技術(shù)的實施(直流、中頻、射頻、脈衝(chōng)、反應濺射,以及它們之間的結合而發展的技術,或者新技術的應用(yòng)等),

同種技術不同工藝參數的調整(zhěng)(功率,氣壓(yā),沉積方式等),前處理(清洗、預熱等),後處理(熱處理等)。

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