低真空的獲得  

獲得低真空常采（cǎi）用機械泵，機械泵是運用機械方法不斷地改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹，從而獲得真空（kōng）的裝（zhuāng）置。

它可（kě）以直接（jiē）在大氣壓下開始工作，極限真空度一般為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣（qì）速率與轉（zhuǎn）速及空腔體積V的大小有關，一般在每秒幾升到每秒幾十升之間。

高真（zhēn）空的獲得 

目（mù）前，廣泛使用的獲得高真空的泵就是擴散泵。擴散泵是利用氣體擴散（sàn）現象來抽氣的，它不（bú）能直接在大氣（qì）壓下工作，而需要一定的預備真空度（1.33-0.133Pa）。

油擴散（sàn）泵的（de）極限真空（kōng）度（dù）主要取決於油（yóu）蒸汽（qì）壓和氣體分子的反擴散（sàn），一般能達到（dào）1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速率與（yǔ）結構相關，每秒幾升--幾百升（shēng）不（bú）等。