磁控濺射膜常見故障的排除

膜層灰暗及發黑

(1)真空度低於 0.67Pa。應將真空度提高到 0.13-0.4Pa。

(2)氬氣純度低（dī）於 99．9％。應（yīng）換用純度為 99．99％的氬氣。

(3)充（chōng）氣係（xì）統漏氣。應檢查充氣係統，排除漏氣現象。

(4)底漆未充分固化。應適當延長底漆的固化時間。

(5)鍍件放氣量（liàng）太大。應進行幹燥和封（fēng）孔處理 膜層表麵光澤暗（àn）淡

(1)底漆固化不良或變質。應適當延長底漆的固化時間或更換底漆。

(2)濺射時（shí）間太長。應適當縮短。

(3)濺射成膜速度太快。應適當降低濺射電流或（huò）電壓

膜層色澤不均

(1)底漆噴塗得不均勻。應改進底漆的施塗方（fāng）法。

(2)膜層太薄。應適當提高濺射速度或延長濺射時間。

(3)夾具設計不合理。應（yīng）改進夾具設計。

(4)鍍件的幾何形狀太複雜。應適（shì）當提高鍍件的旋轉速度

膜層發皺、龜裂

(1)底漆（qī）噴塗得（dé）太厚。應控製在 7—lOtan 厚度（dù）範圍內。

(2)塗料的粘度太高。應適當降低。

(3)蒸發速（sù）度太快。應適當減慢。

(4)膜（mó）層太厚。應適當縮短（duǎn）濺（jiàn）射時間。

(5)鍍（dù）件溫度太（tài）高。應適當（dāng）縮短（duǎn）對鍍件的加溫時間

膜層表麵有水跡、指紋及灰粒

(1)鍍件清（qīng）洗（xǐ）後未充分幹燥（zào）。應加強鍍前處理。

(2)鍍件表麵濺上水珠或唾液。應加強文明生產，操作者應帶口罩。

(3)塗底漆後手接觸過鍍件，表麵留下指紋。應嚴禁用手（shǒu）接觸鍍件表麵。

(4)塗料中有顆粒（lì）物。應過濾（lǜ）塗料（liào）或更換塗料。

(5)靜電（diàn）除塵失效或噴塗和固化環境中有（yǒu）顆粒灰塵。應更換（huàn）除（chú）塵器，並保持工作環境的清潔

膜層附著力不良

(1)鍍件除油脫脂（zhī）不徹底。應加強鍍前處理。

(2)真空室內不（bú）清潔（jié）。應清洗真空室。值（zhí）得注意的是，在裝靶和拆靶的過程中，嚴禁用手 或不幹（gàn）淨的（de）物體與磁控（kòng）源接（jiē）觸，以保證磁控源具有（yǒu）較（jiào）高的清潔度（dù），這是提（tí）高膜層結（jié）合力的 要措施之（zhī）一。

(3)夾具不（bú）清（qīng）潔。應清洗夾具。

(4)底塗料選用不當。應更換塗料（liào）。

(5)濺射（shè）工藝條件控製不當。應改（gǎi）進濺射工藝條件（jiàn）