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分(fèn)析真空鍍膜機精密抽(chōu)真空速度慢的原因

作者(zhě): 來源: 日期:2020-07-24 23:49:11 人氣:803
    分(fèn)析真空鍍膜機精密抽真空速度慢的原因
    真空鍍膜機(jī)精度抽速慢的原因(yīn)主要從以下幾個方麵找到:
    首先,擴散泵可能不(bú)是很好(hǎo)。
    解決方法:可以用電離計測量單擴散(sàn)泵的(de)泵口,看單擴散(sàn)泵的抽吸能達到多少,再看抽吸時間和極限,然後比較(jiào)。
    二、真空係(xì)統有(yǒu)輕(qīng)微漏(lòu)氣。
    解決方法:需慢慢(màn)檢測泄漏,看抽真空時間是否(fǒu)能達標。
    三、箱子太髒,太髒的氣體大。
    解決方法:清洗紙(zhǐ)箱
    四、前級真(zhēn)空度不好,機械泵或機械(xiè)泵(bèng)加羅茨泵的終 極真空度不好。
    解決方法:可單獨用(yòng)電(diàn)阻計檢(jiǎn)測前管。
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