CJ係列磁控濺射(shè)真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:73055
CJ係列磁控濺射真空鍍膜(mó)機的磁控濺射工(gōng)作原理,所謂“濺(jiàn)射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物(wù)體,從而引起物體表麵原子從母體中逸出(chū)的現象。早在1842年Grove在實(shí)驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為曲線形(xíng),均勻電場(chǎng)和對數電場則分別用於平(píng)麵靶(bǎ)和同軸圓柱靶。電子在電場作用下,加速飛向基片的過(guò)程(chéng)中與氬(yà)原子發生(shēng)碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產(chǎn)生電子,電子飛向基片,Ar+在電場(chǎng)作用下(xià),加速飛向陰極(濺射靶(bǎ))並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射(shè)。
廣泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀(yí)表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工(gōng)模具(jù)的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電膜等(děng)領域有優勢。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大(dà)的表麵上獲得厚(hòu)度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子產生不同程度的注入現象,在基片上形成一層濺射原子與(yǔ)基片(piàn)原子(zǐ)相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊材料的薄膜,可以使用不同的(de)材料同時濺射製(zhì)備混合膜、化合膜(mó),還可濺射成TiN仿金(jīn)膜;
4)、膜層純度高,濺射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直(zhí)接常溫冷鍍(dù)成(chéng)膜(mó),節能省電,提高產能。
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機(jī) | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真(zhēn)空機(jī)組(zǔ) | KT400擴散泵機組 | KT500擴(kuò)散泵機組(zǔ) | KT800擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機(jī)組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 直流或中頻電源、鍍膜輔助(zhù)離子專用電源 |
充氣係統 | 質量流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質量(liàng)流(liú)量計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流(liú)量計 |
控製方(fāng)式 | 手(shǒu)動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動(dòng)或全自動 | 手動或(huò)全自動 |
極(jí)限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做 |