工作原(yuán)理
WJZ係列無介質獨立膜電阻蒸發真(zhēn)空鍍膜機的原理是在真空室中將金屬材料(鋁、鎳、錫等)利用電阻蒸發技術將材料汽化(huà),汽化後的金屬分子產(chǎn)生飛逸沉積於基材的表(biǎo)麵上形(xíng)成鋁、錫等純金屬薄膜層,出爐後(hòu)將膜層從特別的基材表麵可(kě)輕輕剝落,形成無介質獨立性的厚度為2-3μm,具有一定彈性、能夠隔離氣體和光線的薄膜。
應用範圍
產品特點
技(jì)術參數表
WJZ係列(liè)無(wú)介質獨立膜(mó)電阻蒸發真空鍍膜機 | |||||||
型號 | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
真(zhēn)空室尺寸(cùn) | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
真空機組 | KT300擴散泵機(jī)組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組(zǔ) | KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機(jī)組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴散(sàn)泵機組 |
鍍膜係統 | 電(diàn)阻蒸發源+圓柱(zhù)磁控多弧(可選配) | ||||||
鍍膜(mó)輔助係(xì)統 | 低溫離(lí)子鍍膜電源 | ||||||
充氣係(xì)統 | 質量流(liú)量計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上(shàng)設備參數僅(jǐn)做(zuò)參考,具體均按客戶實際工藝要求設計(jì)訂做 |