CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:73054

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

工作原理

CJ係列磁控濺射真空(kōng)鍍膜機的磁控濺射工作原(yuán)理,所謂“濺射”就(jiù)是用荷能(néng)粒子(通常用(yòng)氣體正離子)轟擊物體,從(cóng)而引起物體表麵原子從母體(tǐ)中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了這種現象(xiàng)。磁控濺射靶采(cǎi)用靜止電磁(cí)場,磁場為曲線形,均勻電場和對數電場則分別用於平麵(miàn)靶和同軸圓柱靶。電子在(zài)電場作用(yòng)下,加速飛向基片的過程中與氬原子發(fā)生碰撞。若(ruò)電子具有足夠的能量(約為30ev)時(shí),則電離出Ar+並產生電子,電(diàn)子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能(néng)量轟擊靶(bǎ)表麵,使靶材發生濺射。 

應用範圍

廣泛應用於家電電器、鍾表、高爾(ěr)夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻(bō)璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超黑膜(mó)、純金裝飾膜、導電膜等領域有優勢。

產(chǎn)品特點

1)、膜厚可控(kòng)性和重複性好(hǎo)。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜(mó)可以在(zài)較大的表麵上獲得厚度均(jun1)勻的膜層;
2)、薄膜與基(jī)片的(de)附著力強。部分高能量的濺射(shè)原子產生不同程(chéng)度的注入現象,在基(jī)片上形成一層濺射原(yuán)子與基片原子相互溶(róng)合的偽擴散層;
3)、製備特殊材料的(de)薄膜,可以使用不(bú)同的材料同時濺射製備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層(céng)純度高,濺射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝(zhuāng)備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能(néng)。

技術參數表

CJ係列磁(cí)控濺射真空(kōng)鍍膜機     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真(zhēn)空機組KT400擴散泵機組KT500擴散泵機組KT800擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散(sàn)泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散(sàn)泵機(jī)組
鍍膜係統直流或中頻電源、鍍(dù)膜輔助離子專用電源(yuán)
充氣係統質量流量計質量流量計質量流量計質量流量(liàng)計質量流量計質量流量計(jì)質量流量計
控製方式手動或全自動手動或全自動手動或全自(zì)動手動或全自動手動或全自(zì)動手動或全自動手(shǒu)動或全自(zì)動(dòng)
極限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設備參數(shù)僅做參考,具體均按客(kè)戶實際工藝要求設計訂做
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