工作原理
應(yīng)用範圍
產品(pǐn)特點
技術參數表
ZFW係列臥式電阻蒸發真空鍍膜機 | |||||||
型號 | ZFW-600 | ZFW-1400 | ZFW-1600 | ZFW-1800 | ZFW-2000 | ZFW-4000 | ZFW-5000 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM | Φ2000×3000MM | Φ4000×8000MM | Φ5000×10000MM |
真空機組 | KT500擴散泵機組 | 雙KT6300擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散(sàn)泵機組 | 雙KT800擴散(sàn)泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組(zǔ) | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙(shuāng)KT1000擴散泵機組*4套 |
鍍膜係統 | 電阻蒸發(fā)源、鍍膜輔助離子專用電源 | ||||||
充氣(qì)係(xì)統 | 質量流量計 | ||||||
控製方式(shì) | 手動或全自動(dòng) | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以(yǐ)上設備參數(shù)僅(jǐn)做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做,可選擇保護膜鍍膜功能 |