如(rú)何掌控真空鍍膜的均勻性
作者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:1837
如何掌控(kòng)真空鍍膜的均勻性
我們先來認識下怎麽調試鍍膜機,因為(wéi)掌握調試鍍膜機是使用鍍膜機的關鍵(jiàn)怎麽(me)調(diào)試鍍膜機
1、測試設(shè)備的抽真空速度,在(zài)測試過程中檢查漏氣情況與各真空(kōng)泵的性能;
2、測試設備(bèi)的密封性能,就是抽到極(jí)限(xiàn)後保壓(yā)1小時看壓降是否達標,同時排除細小的漏孔;
3、產品試(shì)作(zuò),檢驗其他(tā)的性能,比如傳動、加熱、絕(jué)緣等(děng)等;
4、如果有工藝保證的話就繼續打樣並作測(cè)試。
5、所有的測試應作記錄,並有記錄(lù)人簽字以及有使用部(bù)門或(huò)工程部門的人確認簽字
怎麽掌控真空鍍膜的均勻性?
由於車燈鍍(dù)膜機原理的不同分為很多(duō)種類,僅僅因為都需要高真空(kōng)度而擁有統一名稱。所以對於不同原理的真空鍍膜,影響(xiǎng)均勻性的因素也不盡相同。並且均勻性這(zhè)個(gè)概(gài)念本身也會隨著鍍膜尺度和薄(báo)膜成分而有著不同的意義(yì),下麵(miàn)分別說一下:
均勻性主要體現在(zài)3方麵:
1、厚度上的均(jun1)勻性,也可以理解為粗糙度,在光學薄膜的尺度上看(也就(jiù)是1/10波長作為單(dān)位,約為100A),真空鍍(dù)膜的均勻性已經(jīng)相當好,可以輕鬆將粗糙度控製在可見光波長的1/10範圍內,也就是說對於多弧(hú)離子鍍膜機(jī)的光(guāng)學特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。但是如果是指原子層尺度上的均勻度,也就(jiù)是說要(yào)實現10A甚至(zhì)1A的表麵平(píng)整,是現在真空鍍膜中主要的技(jì)術含量與(yǔ)技術瓶頸所在(zài)。
2、化學(xué)組分上的均勻性:就(jiù)是說在薄膜中,化合物的原子(zǐ)組分(fèn)會由於尺度過小而很容易的產生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果(guǒ)濺控(kòng)濺射鍍(dù)膜機過程不科學,那麽實際表麵的組分並(bìng)不(bú)是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜(mó)並非是想要的膜的化學(xué)成分,這也是真空鍍膜的技術含量所在(zài)。
3、晶格(gé)有序度(dù)的均勻性:這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術(shù)中的(de)熱點問題。
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